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GAS02系列
| 型號 | 工作臺面尺寸 (mm) | 基座尺寸 (mm) | 行程 (mm) | 角度(θ) | 水平負載能力 (kgf) | 反復定位精度(um) |
| GAS02-400CC | 400×400 | 500×500 | ±10x±10 | ±3.5° | 105 | UP：±1 P：±5 |
| GAS02-400RS | 400×400 | 500×500 | ±10x±10 | ±3.5° | 130 | UP：±1 P：±5 |
| GAS02-500CC | 500×500 | 600×600 | ±10x±10 | ±2.5° | 105 | UP：±1 P：±5 |
| GAS02-500RS | 500×500 | 600×600 | ±10x±10 | ±2.5° | 130 | UP：±1 P：±5 |
| GAS02-750CC | 750×750 | 850×850 | ±10x±10 | ±1.5° | 105 | UP：±1 P：±5 |
| GAS02-750RS | 750×750 | 850×850 | ±10x±10 | ±1.5° | 130 | UP：±1 P：±5 |
| 特性介紹 |
| ? 採用了劃時代性模組結構的超薄型平臺
在基座、工作臺之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺組和特殊交叉滾柱軸承的模組之獨特性，實現了超薄型結構。 ? 高剛性、高精度 對于構成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺組的特殊交叉滾柱施加了預壓，達到高精度、高剛性的結構。 ? 超薄型、輕量化、中空結構 採用XYθ模組化結構，實現了無中座、薄而輕的機構，可作為光學式檢查裝置或導通測試時使用。 ? 潤滑系統 在各種運動軌道加入潤滑系統，確保潤滑脂補充，提高對位平臺使用的壽命及精度。 ? 尺寸齊全 適用各種機型運用 工作臺面尺寸口100mm~口1500mm，為了可以對應更大的精度荷載，可藉由增加從動模組之數量來達成。 |
| 產業(yè)應用介紹 |
| ?? 面板貼合機
?? 面板貼膜機 ?? 網版及3D網版印刷 ?? 玻璃側角及磨邊設備 ?? Wafe對位設備 ?? P.C.D曝光設備 ?? 軟體裁切設備 ?? 半導體設備 |
